Y cada transmisor debe ser probado y calibrado cuando sale de la fábrica para que cumpla las normas especificadas, y algunas prestaciones deben optimizarse antes de que el sensor salga de la fábrica, y la histéresis de presión es una de ellas.
Hoy se presentará la histéresis de presión del sensor piezoresistivo.
¿Qué es la histéresis de presión?
En el proceso de calibración del sensor de presión, la presión se detecta a través del diafragma de aislamiento y el tubo de ventilación. Aunque el volumen de entrada de presión será unificado, la dirección y el valor de la presión de presurización y despresurización del sensor de presión en las condiciones reales de uso son diferentes, lo que conducirá a un valor de salida de señal diferente del sensor de presión.
La desalineación de la curva característica de entrada de presión-salida de señal en el proceso de presurización y despresurización es la llamada histéresis de presión.
¿Qué influye en la histéresis de la presión?
En primer lugar, veamos la composición del sensor de presión de silicio difuso. Chip de presión de silicio difuso, base metálica, cubierta aislante de cerámica, aceite de silicio, diafragma de aislamiento metálico. Cuando la presión actúa sobre el sensor de presión, el diafragma, el chip y otros materiales se deformarán en diferentes grados. Cuando se elimina la presión, la deformación seguirá desapareciendo.
Sin embargo, la posibilidad de recuperar el estado original depende de las características del propio material, su método de procesamiento, el entorno y otros factores. Por lo tanto, aunque el valor de la presión sea el mismo, el resultado puede no ser el mismo durante el proceso de presurización y despresurización.
¿Cómo calcular la histéresis de presión?
El error de histéresis se determina generalmente por métodos experimentales. Bajo múltiples puntos de presión de calibración dentro del rango de presión, se compara la diferencia entre la presurización y la despresurización del punto de calibración de la presión y el valor medio de salida, el valor absoluto de la diferencia media máxima y el porcentaje de la escala completa es el error de histéresis, y el error de histéresis también se llama error de retorno.
Cuando el sensor se encuentra en un entorno de temperatura especificado, la presión del sensor probado se incrementa hasta el límite superior de medición, y después de que la presión se estabilice, la presión se reduce y vuelve al punto cero. Luego, dentro del rango completo de los límites superior e inferior del sensor, se seleccionan 6~11 puntos de prueba distribuidos uniformemente, se repiten tres o más veces para aumentar y disminuir el ciclo de calibración de la presión.
Después de muchas pruebas basadas en la fórmula de histéresis, el valor máximo de los datos obtenidos es la histéresis de la presión.
¿Cómo optimiza el microsensor la histéresis de presión?
Micro Sensor selecciona un chip de presión piezoresistivo de silicio de alto rendimiento, completa la unión del chip mediante un equipo automático de unión de chips, y adopta un proceso especial de envejecimiento del diafragma para liberar la tensión interna del diafragma de aislamiento después del estampado y la conformación, asegurando que la técnica de los procesos importantes sea consistente y el excelente rendimiento de las materias primas. Optimizamos la histéresis de presión mediante el envejecimiento, el choque de presión y otros procesos, mejorando así el rendimiento integral del sensor de presión.
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