el plasma en un depurador de plasma es un estado existente de la materia, que generalmente es un gas de proceso. Por lo tanto, se debe instalar un transmisor de presión especial en la ruta de gas relevante del depurador de plasma para monitorear y retroalimentar los datos de producción relevantes.
1. Necesita poder ajustar el tamaño de la presión del gas para garantizar la estabilidad de la presión del gas
2. Un entorno electromagnético fuerte requiere un excelente rendimiento EMC de los componentes electrónicos
3. Hay requisitos especiales para la estructura de interfaz de presión del transmisor de presión
1. La estructura eléctrica del producto está altamente integrada y tiene un buen diseño de compatibilidad electromagnética.
2. Varios tipos y opciones para cumplir con los requisitos especiales de la interfaz de presión
3. Cualificaciones de certificación completas
El sensor de presión piezorresistivo MPM281 está hecho por completo de acero inoxidable con una placa de PCB de alto rendimiento incorporada. Este sensor de presión es compacto con solo 19 mm de diámetro, mientras que tiene un amplio rango de presión de 7 kPa a 100 Mpa. Además, los clientes también pueden usar el sensor de presión MPM281 para la medición de la presión negativa.
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