La matriz MEMS es el núcleo, el rendimiento se verá afectado si entra en contacto directo con el medio, como el agua, el aceite y el aire, y la vida útil puede incluso acortarse. Por lo tanto, es necesario proteger el troquel MEMS mediante un proceso de empaquetado para evitar la influencia del medio de medición, y se requiere que sea capaz de transmitir la presión al troquel MEMS.
En el proceso de producción y embalaje, el embalaje aislado es el método de embalaje más utilizado para los sensores de presión. Se refiere a aislar el troquel MEMS del sensor de presión del medio de medición. El diafragma corrugado de acero inoxidable es uno de los componentes importantes para el aislamiento. El sensor de presión encapsulado tiene un amplio rango de aplicación. Puede medir la presión de medios fluidos ordinarios, y también puede medir la presión en entornos de medios corrosivos, como el ácido fuerte o el gas o líquido alcalino fuerte.
El proceso de envasado aislado suele consistir en fijar el troquel sensible a la presión en el paquete de sensores herméticamente sellado, conectar eléctricamente el troquel sensible a la presión y la pata del tubo del paquete de sensores herméticamente sellado con hilos de oro, y utilizar la tecnología de soldadura láser para soldar el paquete de sensores herméticamente sellado y el diafragma corrugado de acero inoxidable para formar una cavidad cerrada. Después de llenar la cavidad con el aceite de silicona purificado, se sella mediante soldadura a presión con pasadores para formar una estructura de embalaje metálica aislada.
Cuando el sensor recibe la presión del medio externo, el diafragma corrugado de acero inoxidable se deforma elásticamente bajo la presión del medio medido. El aceite de silicona de la cavidad sellada se comprime y la fuerza de compresión se transmite a la matriz MEMS. Una vez que el troquel MEMS se deforma elásticamente, la señal de presión se convierte en una señal eléctrica, y se conduce al pin del paquete de sensores sellado herméticamente a través del cable de oro para su transmisión. Por lo tanto, el llenado de aceite desempeña un papel importante en el proceso de transmisión de la presión del sensor de presión, y es necesario garantizar que la presión pueda transmitirse casi sin pérdida al troquel MEMS.
Entonces, ¿qué tipo de aceite se utiliza generalmente para llenar los sensores de presión?
El aceite que se rellena en el sensor de presión es generalmente aceite de dimetil silicona, que también se conoce como aceite de metil silicona o simeticona, que es un líquido incoloro, transparente y viscoso, insípido, inodoro y no tóxico. El rango de temperatura de trabajo a largo plazo es de -50～180℃ y puede utilizarse durante mucho tiempo a 200℃ bajo el aislamiento de aire o en gas inerte. Tiene una excelente estabilidad química, puede ser ampliamente utilizado en rellenos aislantes, resistentes al calor, a prueba de humedad, antiespumantes de alta eficiencia, agentes de desmoldeo, lubricantes y agentes de tratamiento de superficies.
Sin embargo, al medir el oxígeno, el aceite universal de simeticona es más propenso a las quemaduras y explosiones durante su uso debido a sus propias características. En este momento se suele utilizar el aceite de fluorocarbono para el llenado.
El componente principal del aceite de fluorocarbono es el clorotrifluoroetileno, que tiene las características de alta estabilidad térmica, buena lubricidad, alta resistencia dieléctrica, alta densidad, baja compresibilidad, no polaridad, inercia química y no inflamabilidad. Dentro del rango de viscosidad, el aceite de fluorocarbono es compatible con oxidantes fuertes como el cloro, el oxígeno y el peróxido de hidrógeno, lo que puede prevenir eficazmente la reacción del aceite con el oxígeno, evitar explosiones, mejorar el nivel de seguridad y reducir en gran medida las pérdidas económicas y de tiempo causadas por el mantenimiento o la sustitución.
Micro Sensor ofrece sensores de presión de medición de oxígeno como los transmisores de presión diferencial MDM290FL, MPM280FL, MPM281VCFL y MDM4901FL. Sus carcasas están rellenas de aceite de fluorocarbono. Además, los producimos en un proceso libre de aceite durante la producción, y el proceso de limpieza de nivel de oxígeno, por lo que puede
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